Спектральный эллипсометрический комплекс «Эллипс 1891 САГ» (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения при известных значениях толщины пленок).
Характеристики
| Модель | ЭЛЛИПС-1891САГ |
