Размер
A A A
Цвет
Ц Ц Ц Ц Ц
Разрядка
ИИ И И И И
Изображения
нет Ч/Б Цв.
29 мая 2024 | неделя четная

НаноЛаборатория - ИНТЕГРА Прима

Подразделение:

НаноЛаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предусматривает возможность изучения физических и химических свойства поверхности образца с большой точностью и высоким разрешением. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать с высокой скоростью сканирования.

ИНТЕГРА Прима — это многофункциональный прибор для решения наиболее типовых задач в области Сканирующей Зондовой Микроскопии. В возможности прибора входит более 40 измерительных методик, что позволяет изучать физические и химические свойства поверхности образца с высокой точностью и разрешением. Возможно проведение измерений в различных средах - на воздухе, в контролируемой атмосфере, в жидкости. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать в высокочастотных режимах (до 5 мГц). Эта возможность оказывается принципиальной при работе с высокочастотными модами Атомно-Силовой Микроскопии или использовании высокочастотных кантилеверов.

В ИНТЕГРА Прима реализовано несколько режимов сканирования – сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. За счет этого система идеально подходит как для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомарно-молекулярный уровень), так и для больших образцов и диапазона сканирования 100х100х10мкм. Уникальный режим двойного сканирования DualScan TM позволяет изучать еще большие области на поверхности образца до 200х200 мкм по X,Y и до 22мкм по Z, что может быть полезно, например, для живых клеток или компонентов МЭМС.

Встроенные емкостные датчики обратной связи по всем трем координатам отслеживают реальное перемещение сканера и компенсируют такие неизбежные совершенства пьезокерамики как нелинейность, гистерезис и крип. Используемые в оборудовании НТ-МДТ датчики имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с включенным контролем обратной связи даже на малых полях – до 10х10нм. Это особенно ценно для проведения наноманипуляций и при работе в режимах литографий. В ИНТЕГРА Прима используется встроенная оптическая система с разрешением до 1 мкм, что позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Прима может быть существенно расширена. Это могут быть специализированные магнитные измерения с внешним магнитным полем, высокотемпературные исследования, ближнепольная оптическая микроскопия, Раман спектроскопия и т.д.

Тип сканирования

Сканирование образцом

Сканирование зондом*

Размер образца

До 40 мм в диаметре, 
до 15 мм в высоту

До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту

Вес образца

До 100 г

До 300 г

XY позиционирование образца

5x5 мм

5x5 мм

Разрешение позиционирования

5 мкм

минимальное перемещение - 2 мкм

5 мкм

минимальное перемещение - 2 мкм

Поле сканирования

100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм

100x100x10 мкм
50x50x5 мкм

Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)

0.1%

0.15%

Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)

С датчиками

0.04 нм (типично),
0.06 нм

0.06 нм (типично),
0.07 нм

Без датчиков

0.03 нм

0.05 нм

Уровень шума, XY
(СКВ в полосе 200 Гц)

С датчиками

0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)

0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)

Без датчиков

0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)

0.01 нм (XY 50 мкм),

Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)

±0.5%

±1.2%

Система видеонаблюдения

Оптическое разрешение

1 мкм
(0.4 мкм по требованию,
NA 0.7)

3 мкм

Поле зрения

4.5 - 0.4 мм

2.0- 0.4 мм

Виброизоляция

Активная

 0.7-1000 Гц

Пассивная

выше 1 кГц

Характеристики

МодельИНТЕГРА Прима
измерительных методикболее 40
высокочастотные режимыдо 5 мГц

Группа обслуживания научного оборудования