Двухлучевой сканирующий микроскоп (многолучевая система) JIB-4500, оснащенная электронной пушкой LaB6 и ионной пушкой выполняет функции сканирующего электронного микроскопа (далее «SEM») и сфокусированного ионного луча (далее «FIB»)
Характеристики
| Модель | JEOL JIB-Z4500 |
| Ионная пушка: Источник ионов | Галиевый |
| Ионная пушка: Ускоряющее напряжение | 1 - 30 кВ |
| Ионная пушка: Увеличение | x30 (в режиме навигации по образцу) x100 – x300 000 |
| Ионная пушка: Разрешение изображений во вторичных электронах | 5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Ионная пушка: Ток пучка | от 0,5 пА до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Разрешение изображений во вторичных электронах | 2,5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Ускоряющее напряжение | 0,3-30 кВ |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Ток пучка | от 1 пА до 1 мкА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Диапазон увеличений | от х5 до х300 000 |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Столик | Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Диапазон перемещения столика | Диапазон перемещений: X: 76 мм, Y: 76 мм, Z: от 5 до 48 мм Наклон: от -5° до 90°, вращение - 360° |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Максимальный размер образца | диаметр до 75 мм, высота до 30 мм |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Катод | W или LaB6 |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Система откачки | Полностью автоматическкая: турбомолекулярный насос + 2 ротационных насоса 2 сорбционных ионных насоса |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Операционная система | для MS Windows 7 Pro |
| Электронно-оптическая колонна (РЭМ): Опции | Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ) Система напыления образцов углеродом, вольфрамом и |
Галлерея