Наука и инновации

Двухлучевой сканирующий микроскоп (многолучевая система) JIB-4500, оснащенная электронной пушкой LaB6 и ионной пушкой выполняет функции сканирующего электронного микроскопа (далее «SEM») и сфокусированного ионного луча (далее «FIB») 


Характеристики

МодельJEOL JIB-Z4500
Ионная пушка: Источник ионовГалиевый
Ионная пушка: Ускоряющее напряжение1 - 30 кВ
Ионная пушка: Увеличениеx30 (в режиме навигации по образцу) x100 – x300 000
Ионная пушка: Разрешение изображений во вторичных электронах5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Ионная пушка: Ток пучкаот 0,5 пА до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Разрешение изображений во вторичных электронах2,5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Ускоряющее напряжение0,3-30 кВ
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Ток пучкаот 1 пА до 1 мкА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Диапазон увеличенийот х5 до х300 000
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  СтоликЭвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Диапазон перемещения столикаДиапазон перемещений: X: 76 мм, Y: 76 мм, Z: от 5 до 48 мм Наклон: от -5° до 90°, вращение - 360°
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Максимальный размер образцадиаметр до 75 мм, высота до 30 мм
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  КатодW или LaB6
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Система откачкиПолностью автоматическкая: турбомолекулярный насос  + 2 ротационных насоса 2 сорбционных ионных насоса
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  Операционная системадля MS Windows 7 Pro 
Электронно-оптическая колонна (РЭМ):  ОпцииЭнергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ) Система напыления образцов углеродом, вольфрамом и